中微公司获得发明专利授权：“一种托盘结构、薄膜沉积装置和方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种托盘结构、薄膜沉积装置和方法”，专利申请号为CN202110891241.X，授权日为2025年5月9日。

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专利摘要：本发明公开了一种托盘结构、薄膜沉积装置和方法，该托盘结构包含：主承载盘，其上表面包括多个向下凹陷部；多个轴承组件，分别设置于所述凹陷部内；多个行星盘，支撑于所述轴承组件上，所述行星盘用于承载待处理晶圆；驱动气体通道，设于主承载盘内，用于提供驱动气体以驱动所述行星盘沿轴承组件转动；清洁气体通道，设于主承载盘内，用于提供清洁气体到所述凹陷部以清洁凹陷部的内部。其优点是：其将主承载盘、行星盘、轴承组件、驱动气体通道和清洁气体通道等相结合，直接或间接地实现了行星盘的自转和公转，有助于提高晶圆的薄膜沉积均匀性，且清洁气体通道保证行星盘底部的环境清洁，避免行星盘和轴承组件转动时产生颗粒污染物污染腔内环境。

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今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了13.79%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

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数据来源：天眼查APP

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